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直驅電機在光刻系統應用越來越廣泛

文章出處:泰萊CCTL人氣:4027發表時間:2017-09-09 13:57:00【

  精密光刻系統主要用于假冒偽劣產品的防偽處理,各種假冒偽劣產品越來越多,防偽技術的要求也越來越高, 一般的電機再加上一套變換機構與組成的直線運動裝置已經不能滿足現代光刻控制系統的要求。

直線電機生產車間 直線電機產生中心

          CCTL直線電機生產中心一角

  另一方面,直驅電機的快速響應能力和精度等方面都有著普通驅動機構難以匹敵的優勢,直驅電機也稱為直線電機,它所以直線電機驅動在精密光刻系統中廣泛應用。

直線電機結構簡單、反應速度快、靈敏度高、隨動性好及壽命長的特點。它使用的光柵尺分辨率可達到0.1μm,不僅提高了光刻的速度,而且使光刻的精度達也大大提高。

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標簽:直驅電機,直線電機

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